以液氮作為冷源，液氮存放在低溫液體罐內(nèi)，使用時(shí)先關(guān)閉液氮罐的放空閥，再打開(kāi)增壓閥，因部分液氮?dú)饣挂旱迌?nèi)部壓力升高，此時(shí)找開(kāi)液氮的出口閥，液即從貯罐內(nèi)壓出,經(jīng)動(dòng)薄膜調(diào)節(jié)閥進(jìn)入深冷箱。
主要用于超導(dǎo)材料、電子元器件、半導(dǎo)體器件、化學(xué)物質(zhì)、生物制品等的深度冷凍和保存。主要由外殼、真空室、保溫材料、液氮儲(chǔ)罐、控制系統(tǒng)等組成。外殼和真空室之間為保溫材料層，液氮儲(chǔ)罐通過(guò)管道和控制系統(tǒng)連接。設(shè)備的制冷原理是利用液氮的低溫性質(zhì)，將儲(chǔ)存在液氮儲(chǔ)罐中的液氮通過(guò)管道輸送到真空室，使真空室內(nèi)部的溫度降至零下數(shù)十?dāng)z氏度以下，達(dá)到深度冷凍的目的。控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)控制設(shè)備內(nèi)部液氮的流量和壓力，確保設(shè)備內(nèi)部的溫度能夠穩(wěn)定在設(shè)定的溫度范圍內(nèi)。同時(shí)，控制系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備內(nèi)外的溫度和壓力信息，做出相應(yīng)的調(diào)整和報(bào)警。
液氮深冷箱的工藝流程主要包括:制備液氮、輸送液氮、保持液氮、恢復(fù)溫度等。
制備液氮：通過(guò)液氮制備設(shè)備制備液氮并存儲(chǔ)于液氮儲(chǔ)罐中，為后續(xù)的輸送液氮做好準(zhǔn)備。
輸送液氮：將儲(chǔ)存在液氮儲(chǔ)罐中的液氮通過(guò)管道輸送到真空室中，使得真空室內(nèi)部的溫度降至目標(biāo)溫度，保持在設(shè)定的溫度范圍內(nèi)。
保持液氮：在達(dá)到目標(biāo)溫度之后，保持真空室內(nèi)真空度不變，且控制系統(tǒng)始終維持液氮的流量和壓力穩(wěn)定，防止液氮的阻塞或泄露。
恢復(fù)溫度：當(dāng)需要取出樣品或中止液氮深冷的時(shí)候，需開(kāi)啟液氮流量調(diào)整閥門(mén)，使余下的液氮全部回流至液氮儲(chǔ)罐中，真空室內(nèi)的溫度隨之上升至室溫，完成一次液氮深冷。
